 |
|
|
10.МБ.240. Способ и устройство для подготовки особо чистой ионизированной воды
Apparatus and method for manufacturing electrolytic ionic water and washing method using electrolytic ionic water. Пат. 6007696 США, МПК6 C 02 F 1/461. K. K. Toshiba, Takayasu Jun, Miyashita Naoto. № 08/938150; Заявл. 26.09.1997; Опубл. 28.01.1999; Приор. 28.09.1996, № 8-277353 (Япония); НПК 205/747. Англ.
Способ предназначен для получения воды, используемой в произ-ве полупроводников, микросхем, жидкокрист. дисплеев и др. Способ состоит в том, что особо чистая вода с электрич. сопротивлением от 8 до 12 МОм/см, полученная на предыдущих стадиях, смешивается далее с электролитом и эта смесь подвергается электролизу. В одном из вариантов электролизер представляет собой емкость, разделенную на католитную и анолитную камеры ионообм. МБ, смесь, подлежащая электролизу, прокачивается раздельно через эти камеры. Особенностью является конструкция Э; Э представляет собой оболочку из пористого аморф. графита, в к-рой размещается активир. мелкокристаллич. графит, обеспечивающий собственно получение ионизир. воды необходимого кач-ва. ПТ электролиза от 10 до 20 В.
Ключевые слова: акк вода% н особо чистая, ионизир., получение и применение% акк полупроводники% н произ-во% акк интегральные схемы% н произ-во% акк электролиз% н предварительно очищ воды в смеси с электролитом% акк мембраны ионообменные% н использование
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
