 |
|
|
16.МБ.54. Влияние плазмохимического фторирования мембран ПТМСП на их газоразделительные характеристики
Словецкий Д.И., Хотимский В.С. Всероссийская научная конференция "Мембраны - 2001", Москва, 2-5 окт., 2001: Программа. Тезисы докладов. М. 2001, с. 120. Рус.
Изучены ПВ МБ из политриметилсилилпропина (ПТМСП) в широком диапазоне изменения параметров плазмы ВЧ разряда в SF6, CF4 и в смесях SF6, CF4 с кислородом, а также времени экспозиции с контролем потоков и энергии частиц, бомбардирующих ПВ. Фторировались МБ в виде сплошных пленок толщиной 20–100 мкм. Показано, что фторирование происходит в результате бомбардировки ПВ атомами фтора. Вероятность фторирования атомами в 103–104 раз превышает вероятность фторирования молекулами фтора. Оно приводит к изменению хим. состава и строения тонких поверхн. слоев МБ из ПТМСП. Фторирование не приводит к травлению полимера, захватывая только тонкие поверхн. слои – не более 100 нм при макс. экспозициях 3·1022 атомов фтора на см2 ПВ. Глубина фторирования увеличивается пропорционально корню квадратному из времени экспозиции, что свидетельствует о лимитирующей роли диффузии атомов фтора вглубь полимера. Проницаемость всех газов снижается, а селективность увеличивается с увеличением толщины фторир. слоя при неизменном составе плазмы.
Ключевые слова: акк мембраны полимерные% н политриметилсилилпропиновые% н газоразделит.% акк модифицирование% н фторирование ПВ плазмохимич.% акк газы% н проницаемость/селективность изменение
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
